Добро пожаловать!

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1 (М.А. Королёв и др.)

Больше изображений

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1 (М.А. Королёв и др.)
Артикул: 00629
85,00 грн.

Доступность: Ожидается

Часть первая: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование.
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния.
Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов.
Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов.
Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.

Авторы: М. А. Королев, М. А. Ревелева, Т. Ю. Крупкина
Год издания: 2007
Издательство: Лаборатория знаний

Описание

Подробности

Часть первая: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование.
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния.
Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов.
Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов.
Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.

Авторы: М. А. Королев, М. А. Ревелева, Т. Ю. Крупкина
Год издания: 2007
Издательство: Лаборатория знаний

Отзывы